中國(guo)環(huan)境(jing)報見習(xi)記者 丁波(bo) 記者 蔡新華(hua) 上(shang)海被賦予打造(zao)集成(cheng)電路(lu)產業(ye)高地的重大任務，隨著產業(ye)規模(mo)逐步擴大，廢酸環(huan)境(jing)無害化處置(zhi)成(cheng)為(wei)突出問題。據(ju)了解，上(shang)海通過 “點對點”資(zi)源化定向再利用創(chuang)新模(mo)式已破解這一難題。

　　日(ri)前(qian)，一輛(liang)掛有危險標識的罐(guan)裝運輸車(che)(che)穩穩駛入廠區，公(gong)司專職管理員引導車(che)(che)輛(liang)，過磅(bang)、取樣、檢驗、聯(lian)單簽(qian)收……一系列流(liu)程后(hou)(hou)，車(che)(che)被引導至專用卸車(che)(che)區，車(che)(che)上(shang)的特殊液體被接收到(dao)公(gong)司的原料儲料罐(guan)中(zhong)，等(deng)待用于后(hou)(hou)續的生產。

　　這是(shi)記者在(zai)位于金山第二工業(ye)區內的(de)(de)上海澎(peng)博(bo)鈦(tai)白粉有限公司(以(yi)下簡稱(cheng)澎(peng)博(bo)公司)看到的(de)(de)場景。罐裝(zhuang)車內裝(zhuang)運的(de)(de)是(shi)液體硫(liu)酸(suan)，它的(de)(de)特殊性在(zai)于是(shi)上游集成電(dian)路芯片生(sheng)產企業(ye)使用過的(de)(de)廢棄硫(liu)酸(suan)。

　　在(zai)現場，公司負責人(ren)何文龍告訴記者(zhe)，公司是上海市集成電路(lu)芯片行業產(chan)生的廢(fei)(fei)硫酸資源化利用(yong)定點單位，每天安排專用(yong)車輛將(jiang)廢(fei)(fei)酸運(yun)回工廠，經過嚴格的檢(jian)驗流(liu)程后再投入到鈦白粉(fen)生產(chan)當中，今年1月(yue)-7月(yue)已處置(zhi)利用(yong)廢(fei)(fei)酸1.5萬噸。

　　新模(mo)式(shi)解(jie)決行業發展(zhan)難題

　　據上海(hai)市(shi)生態環境局相關負責人介(jie)紹(shao)，上海(hai)首創的廢硫(liu)酸“點(dian)對點(dian)”資源化定向再利用模式(shi)運用逐(zhu)步成(cheng)熟(shu)，目(mu)前已經全(quan)部覆蓋了上海(hai)具備回(hui)收廢酸條件的集(ji)成(cheng)電路(lu)(lu)芯(xin)片制(zhi)造(zao)(zao)企業，總體上穩定地(di)解決了上海(hai)集(ji)成(cheng)電路(lu)(lu)芯(xin)片制(zhi)造(zao)(zao)企業廢硫(liu)酸處(chu)置(zhi)問(wen)題。

　　據上海市集(ji)(ji)成電(dian)路行(xing)業(ye)(ye)協會相關負(fu)責人介紹，集(ji)(ji)成電(dian)路產(chan)(chan)業(ye)(ye)生(sheng)產(chan)(chan)過程中(zhong)會使用大量濃硫酸(suan)，排放(fang)以硫酸(suan)物質為(wei)主，處理(li)廢硫酸(suan)成本(ben)很高(gao)，同(tong)時會存(cun)在(zai)一定的(de)生(sheng)態環境(jing)安全(quan)風險(xian)。這(zhe)個問題(ti)成為(wei)阻礙行(xing)業(ye)(ye)發(fa)展(zhan)的(de)難題(ti)。

　　直面(mian)痛點(dian)(dian)。在上(shang)(shang)海(hai)市(shi)(shi)(shi)經濟和信(xin)息化(hua)委、上(shang)(shang)海(hai)市(shi)(shi)(shi)生態環(huan)境局等相關部門的支持下，上(shang)(shang)海(hai)市(shi)(shi)(shi)固(gu)體(ti)廢(fei)(fei)物和化(hua)學品(pin)管理技(ji)術中(zhong)心、上(shang)(shang)海(hai)市(shi)(shi)(shi)集成電路行業協(xie)會積極探(tan)索，多次召開專(zhuan)家研(yan)討(tao)會論證處置方案(an)，并于2016年開始由(you)中(zhong)芯國際和澎博公司開展廢(fei)(fei)硫酸(suan)“點(dian)(dian)對點(dian)(dian)”資源化(hua)定向再利用試點(dian)(dian)運行，經過多輪試點(dian)(dian)驗(yan)證，最(zui)終(zhong)形(xing)成較(jiao)為成熟的經驗(yan)。

　　去年，上(shang)(shang)海(hai)(hai)市(shi)集(ji)成(cheng)電路行(xing)業協(xie)會會同多(duo)部門專門編寫形成(cheng)了《鈦白粉用集(ji)成(cheng)電路制造(zao)行(xing)業廢硫酸》(T/SICA001-2020)團體標準，在上(shang)(shang)海(hai)(hai)市(shi)質量(liang)(liang)技術監督(du)部門網站和國家標準網上(shang)(shang)進行(xing)公示，全力保障廢酸源頭質量(liang)(liang)的把控。

　　多維度再利用效(xiao)益明顯

　　廢(fei)(fei)硫酸(suan)“點(dian)(dian)(dian)對點(dian)(dian)(dian)”資源化定向再利用(yong)(yong)，這(zhe)一新模(mo)式(shi)的(de)(de)環(huan)境(jing)(jing)效益(yi)、經(jing)(jing)濟(ji)效益(yi)和(he)(he)社會效益(yi)都很(hen)顯著(zhu)。相關(guan)專家告訴記者，模(mo)式(shi)的(de)(de)核(he)心(xin)是實(shi)現(xian)集成電路制(zhi)造(zao)過程中(zhong)產(chan)生(sheng)的(de)(de)廢(fei)(fei)硫酸(suan)替(ti)代(dai)鈦白(bai)粉(fen)生(sheng)產(chan)工(gong)藝過程中(zhong)用(yong)(yong)到的(de)(de)工(gong)業硫酸(suan)。經(jing)(jing)過試點(dian)(dian)(dian)驗證，這(zhe)種模(mo)式(shi)技術可(ke)行性(xing)很(hen)強，廢(fei)(fei)酸(suan)再利用(yong)(yong)單位在使用(yong)(yong)廢(fei)(fei)硫酸(suan)生(sheng)產(chan)鈦白(bai)粉(fen)時，不需(xu)要調整(zheng)現(xian)有(you)工(gong)藝。同時，替(ti)用(yong)(yong)過程不增加(jia)額外(wai)的(de)(de)環(huan)境(jing)(jing)負擔與風險，不影響產(chan)品的(de)(de)質量，符(fu)合“固體(ti)廢(fei)(fei)物(wu)減量化、資源化和(he)(he)無害(hai)化”原(yuan)則(ze)。

　　談到經(jing)濟效益，這位專(zhuan)家給記者算了(le)(le)一(yi)筆賬(zhang)：澎博公(gong)司再利用廢(fei)(fei)硫(liu)酸每噸收費500元，按照上海市(shi)往年(nian)廢(fei)(fei)硫(liu)酸處置(zhi)費每噸2000元計算，今(jin)年(nian)1月至(zhi)7月，澎博公(gong)司累(lei)計利用廢(fei)(fei)硫(liu)酸1.5萬噸，集成電路生(sheng)產企業(ye)可節約2250萬元。同時，澎博公(gong)司也節省了(le)(le)購置(zhi)工業(ye)濃硫(liu)酸的費用，產廢(fei)(fei)企業(ye)和再利用企業(ye)達到了(le)(le)“雙贏”。

　　此(ci)外，新模(mo)式還(huan)符(fu)合循環經濟產(chan)業需求，不(bu)僅解決了(le)廢(fei)硫酸處(chu)置出路難(nan)、處(chu)置費用(yong)(yong)高的難(nan)題，降低了(le)企業生(sheng)產(chan)成(cheng)本(ben)和廢(fei)硫酸處(chu)理(li)費用(yong)(yong)，還(huan)促(cu)進了(le)鈦(tai)白粉生(sheng)產(chan)單位的升級改(gai)造、精準轉型和綠色發展，為日后集(ji)成(cheng)電路產(chan)業的蓬勃(bo)發展鋪平(ping)了(le)道路。

　　深入推進(jin)“點對點”資源(yuan)化再利用(yong)

　　“在(zai)探索推(tui)行這一(yi)新模式的過程中，我們(men)以(yi)守好環境底(di)線為前(qian)提，做到嚴(yan)格把(ba)關，按(an)程序推(tui)進(jin)。”上(shang)海市生態環境局相關負(fu)責(ze)人介紹，在(zai)前(qian)期提出設想并加(jia)以(yi)論證的基礎上(shang)，他們(men)于2016年發文，同意將中芯(xin)國(guo)際和澎博公司(si)設立為上(shang)海市首(shou)個廢硫(liu)酸定向再利(li)用試點(dian)單位，利(li)用芯(xin)片廢硫(liu)酸生產鈦(tai)白粉(fen)。

　　2019年11月，上(shang)海市生態環境局同意4家企(qi)業(ye)廢硫酸(suan)定(ding)向(xiang)資(zi)源化再(zai)(zai)利(li)用備(bei)案。2020年10月，上(shang)海市生態環境局擴(kuo)大廢硫酸(suan)定(ding)向(xiang)資(zi)源化再(zai)(zai)利(li)用備(bei)案，新增4家企(qi)業(ye)，全面覆蓋上(shang)海市具(ju)備(bei)回(hui)收廢酸(suan)條(tiao)件的集成(cheng)電路制(zhi)造企(qi)業(ye)。

　　據介紹，目前，各方(fang)進(jin)展(zhan)順利，各試點企業(ye)(ye)在嚴格執行(xing)(xing)危險廢物各項管理制(zhi)度下，廢硫酸源頭(tou)品質(zhi)得到(dao)保障，并(bing)委托(tuo)具有(you)相(xiang)關運輸資質(zhi)的單位專(zhuan)人(ren)專(zhuan)車進(jin)行(xing)(xing)運輸。澎博公(gong)司(si)在廢酸使用期間，生(sheng)產(chan)運行(xing)(xing)穩定，各項污(wu)染物排(pai)放環(huan)保指標檢測(ce)均符合排(pai)放標準。同(tong)時，澎博公(gong)司(si)對生(sheng)產(chan)設(she)備工藝進(jin)行(xing)(xing)優化改造，在末端形成了可(ke)滿足近期集成電(dian)路產(chan)業(ye)(ye)發展(zhan)需(xu)求的每年(nian)6萬噸廢硫酸利用能(neng)力。

　　“十四(si)五”期間，上海(hai)的集成電路(lu)產(chan)(chan)量將快速增(zeng)長，需處置的廢(fei)硫酸量也將隨(sui)之(zhi)增(zeng)加。據(ju)最新(xin)統計，2020年(nian)(nian)產(chan)(chan)生廢(fei)酸1.25萬噸(dun)(dun)，2021年(nian)(nian)預(yu)計為2.8萬噸(dun)(dun)，到2022年(nian)(nian)上海(hai)芯片(pian)企業產(chan)(chan)生的廢(fei)硫酸將高達(da)6萬噸(dun)(dun)，2025年(nian)(nian)將達(da)到10萬噸(dun)(dun)以上。

　　面對這(zhe)一形(xing)(xing)勢(shi)，上海各相關部門召(zhao)開(kai)會議制定(ding)了(le)“提(ti)前謀劃(hua)改造，形(xing)(xing)成需求匹配、長(chang)久穩定(ding)”的(de)廢硫酸利用(yong)原則。上海市發改委(wei)、上海市經濟(ji)和信息(xi)化(hua)委(wei)還專門組織專家隊(dui)伍到資源化(hua)綜合利用(yong)企(qi)業澎博公司開(kai)展現場調研，了(le)解情況，聽取(qu)企(qi)業和行業專家的(de)意見和建議。

　　作為廢酸(suan)(suan)再利(li)用定點企業，澎(peng)博公司(si)也啟動了匹配廢酸(suan)(suan)資(zi)(zi)源化利(li)用技(ji)改(gai)規(gui)劃，積(ji)極響(xiang)應上級部(bu)門(men)對澎(peng)博公司(si)以廢定產(chan)、提前謀(mou)劃的(de)要求，規(gui)劃“集(ji)成電路行業10萬(wan)噸廢酸(suan)(suan)資(zi)(zi)源化利(li)用”技(ji)改(gai)。

　　在(zai)上海市人民政府近日印發(fa)的《上海市2021-2023年(nian)生態環(huan)境(jing)保護和(he)建設三年(nian)行(xing)動》文件上，記者也注意到相(xiang)關(guan)條文：在(zai)環(huan)境(jing)可控的前(qian)提下，持續推動集成電(dian)(dian)路行(xing)業(ye)廢(fei)(fei)酸(suan)(suan)等危險(xian)廢(fei)(fei)物“點對點”定向資(zi)源化利(li)用工作，形成穩(wen)定的與集成電(dian)(dian)路行(xing)業(ye)未來發(fa)展(zhan)相(xiang)適應的廢(fei)(fei)酸(suan)(suan)處(chu)置(zhi)利(li)用能力。

　　據(ju)悉，未(wei)來，這(zhe)種廢(fei)(fei)棄硫酸“點(dian)對(dui)點(dian)”資源化定向再(zai)利(li)用(yong)模式(shi)，將有力保障我國集成電路(lu)行業的(de)發展，也將對(dui)其他行業的(de)危險廢(fei)(fei)物綜(zong)合利(li)用(yong)起到借鑒和(he)引領作(zuo)用(yong)。

來源：中(zhong)國(guo)環境報