中(zhong)國環(huan)境(jing)(jing)報見習記(ji)者 丁波 記(ji)者 蔡新華(hua) 上海(hai)被(bei)賦予打造集成電路產業高地(di)的(de)重大任(ren)務，隨(sui)著(zhu)產業規(gui)模逐步擴大，廢(fei)酸環(huan)境(jing)(jing)無害(hai)化處置成為突出(chu)問題(ti)。據了解(jie)，上海(hai)通過 “點對(dui)點”資(zi)源化定向(xiang)再利用創(chuang)新模式已破解(jie)這一難(nan)題(ti)。

　　日前，一(yi)輛掛(gua)有危險(xian)標(biao)識的(de)罐裝運輸車穩穩駛(shi)入廠區，公司專職管理(li)員引導車輛，過磅、取樣、檢驗(yan)、聯單簽收……一(yi)系列流程后，車被引導至專用卸車區，車上的(de)特殊液體被接收到公司的(de)原料(liao)儲(chu)料(liao)罐中，等待用于后續的(de)生產。

　　這(zhe)是記者在(zai)位于金山第二工業(ye)區內(nei)的上海澎(peng)博鈦白粉有(you)限公(gong)司(以下簡稱(cheng)澎(peng)博公(gong)司)看到的場景(jing)。罐裝車(che)內(nei)裝運的是液體硫酸，它的特殊性在(zai)于是上游集成電路(lu)芯片生產企(qi)業(ye)使(shi)用(yong)過的廢棄硫酸。

　　在(zai)現場，公司負(fu)責人何(he)文龍(long)告(gao)訴記者，公司是上海市集成電路芯(xin)片行業產生的廢(fei)硫酸(suan)(suan)資源化利(li)用定點單位(wei)，每天安(an)排專(zhuan)用車輛(liang)將廢(fei)酸(suan)(suan)運回工廠，經過(guo)嚴格的檢驗流(liu)程后(hou)再(zai)投入到(dao)鈦白粉生產當中(zhong)，今(jin)年(nian)1月(yue)-7月(yue)已處置利(li)用廢(fei)酸(suan)(suan)1.5萬噸。

　　新模式(shi)解決行業發展(zhan)難題(ti)

　　據上海(hai)(hai)市生(sheng)態環境局(ju)相(xiang)關負責人介紹(shao)，上海(hai)(hai)首創的(de)廢(fei)硫(liu)酸“點(dian)(dian)對點(dian)(dian)”資源(yuan)化定(ding)向(xiang)再利(li)用(yong)模(mo)式運(yun)用(yong)逐(zhu)步成熟，目前(qian)已經全部覆蓋了上海(hai)(hai)具(ju)備回收廢(fei)酸條件(jian)的(de)集(ji)成電路芯(xin)片制造企(qi)業(ye)，總(zong)體(ti)上穩定(ding)地解決了上海(hai)(hai)集(ji)成電路芯(xin)片制造企(qi)業(ye)廢(fei)硫(liu)酸處置問題。

　　據上(shang)海市(shi)集(ji)成(cheng)(cheng)電路(lu)行業(ye)(ye)協會(hui)(hui)相關負責人介紹，集(ji)成(cheng)(cheng)電路(lu)產業(ye)(ye)生產過程中會(hui)(hui)使(shi)用大量(liang)濃硫(liu)酸(suan)，排放以硫(liu)酸(suan)物質為(wei)主，處理(li)廢硫(liu)酸(suan)成(cheng)(cheng)本很高，同時會(hui)(hui)存在一定(ding)的(de)生態環境安全風險。這個問題(ti)成(cheng)(cheng)為(wei)阻礙行業(ye)(ye)發展的(de)難題(ti)。

　　直(zhi)面痛點(dian)(dian)。在上海市(shi)(shi)經(jing)(jing)濟和(he)信息化委(wei)、上海市(shi)(shi)生態環境局等相關(guan)部門的支持下，上海市(shi)(shi)固體(ti)廢(fei)物和(he)化學品管理(li)技(ji)術中心、上海市(shi)(shi)集成電路行業(ye)協會積極探索，多(duo)次召開(kai)(kai)專家研討會論證處置方案，并(bing)于(yu)2016年開(kai)(kai)始(shi)由(you)中芯國(guo)際和(he)澎博公司(si)開(kai)(kai)展廢(fei)硫酸“點(dian)(dian)對點(dian)(dian)”資源(yuan)化定向再利(li)用試點(dian)(dian)運行，經(jing)(jing)過多(duo)輪試點(dian)(dian)驗證，最終(zhong)形成較為成熟的經(jing)(jing)驗。

　　去年，上海市集成電路行(xing)業協會(hui)會(hui)同多部門(men)(men)專門(men)(men)編(bian)寫形成了《鈦白粉用集成電路制造(zao)行(xing)業廢硫酸(suan)》(T/SICA001-2020)團體標準，在上海市質量(liang)技(ji)術監(jian)督(du)部門(men)(men)網站和國家標準網上進行(xing)公(gong)示(shi)，全力保障(zhang)廢酸(suan)源頭質量(liang)的(de)把控(kong)。

　　多(duo)維度再(zai)利(li)用效益明顯

　　廢(fei)硫(liu)酸“點(dian)(dian)對點(dian)(dian)”資源(yuan)化(hua)(hua)(hua)定向再(zai)(zai)利用，這(zhe)一新模(mo)式(shi)的環(huan)境效(xiao)(xiao)益、經濟效(xiao)(xiao)益和社會效(xiao)(xiao)益都很(hen)顯著。相關(guan)專家告訴(su)記(ji)者，模(mo)式(shi)的核心是(shi)實現集成電路制造(zao)過(guo)(guo)程(cheng)中(zhong)產(chan)生的廢(fei)硫(liu)酸替代鈦(tai)白粉生產(chan)工(gong)藝過(guo)(guo)程(cheng)中(zhong)用到(dao)的工(gong)業硫(liu)酸。經過(guo)(guo)試點(dian)(dian)驗證，這(zhe)種模(mo)式(shi)技術可行性很(hen)強，廢(fei)酸再(zai)(zai)利用單位在使用廢(fei)硫(liu)酸生產(chan)鈦(tai)白粉時，不需要調整現有工(gong)藝。同時，替用過(guo)(guo)程(cheng)不增加額(e)外(wai)的環(huan)境負擔與(yu)風險，不影響產(chan)品的質(zhi)量(liang)，符合“固體(ti)廢(fei)物減(jian)量(liang)化(hua)(hua)(hua)、資源(yuan)化(hua)(hua)(hua)和無(wu)害化(hua)(hua)(hua)”原則。

　　談到(dao)經濟效益，這(zhe)位(wei)專家給記者算(suan)了(le)一筆賬：澎(peng)博(bo)公(gong)司再利用廢(fei)硫(liu)(liu)酸每噸(dun)收費(fei)500元(yuan)(yuan)，按照上(shang)海市往年(nian)廢(fei)硫(liu)(liu)酸處置(zhi)費(fei)每噸(dun)2000元(yuan)(yuan)計算(suan)，今年(nian)1月至7月，澎(peng)博(bo)公(gong)司累計利用廢(fei)硫(liu)(liu)酸1.5萬噸(dun)，集(ji)成電路生產企(qi)業(ye)可節約2250萬元(yuan)(yuan)。同時(shi)，澎(peng)博(bo)公(gong)司也節省(sheng)了(le)購置(zhi)工業(ye)濃(nong)硫(liu)(liu)酸的(de)費(fei)用，產廢(fei)企(qi)業(ye)和(he)再利用企(qi)業(ye)達到(dao)了(le)“雙贏”。

　　此外，新模式還(huan)符合循(xun)環經濟產業(ye)(ye)需(xu)求，不(bu)僅解決了廢硫酸處置出路(lu)難、處置費(fei)用高的難題(ti)，降低了企業(ye)(ye)生(sheng)產成(cheng)本和(he)(he)廢硫酸處理費(fei)用，還(huan)促進(jin)了鈦白粉生(sheng)產單位(wei)的升級改造、精準轉型和(he)(he)綠(lv)色(se)發展(zhan)，為日后集成(cheng)電路(lu)產業(ye)(ye)的蓬(peng)勃(bo)發展(zhan)鋪平了道路(lu)。

　　深(shen)入推(tui)進“點對點”資(zi)源(yuan)化再利用

　　“在探索推(tui)行這一新模(mo)式的過程中，我(wo)們(men)以守好環(huan)境底線為前提，做到嚴(yan)格(ge)把(ba)關(guan)(guan)，按程序推(tui)進。”上(shang)海市(shi)生態環(huan)境局相關(guan)(guan)負(fu)責人介紹，在前期提出設(she)想并(bing)加以論證(zheng)的基礎(chu)上(shang)，他(ta)們(men)于(yu)2016年發文，同(tong)意將中芯(xin)國際和澎(peng)博公司設(she)立為上(shang)海市(shi)首個廢(fei)硫酸定向(xiang)再利(li)用(yong)試點單位，利(li)用(yong)芯(xin)片廢(fei)硫酸生產鈦白粉。

　　2019年11月，上(shang)海(hai)市(shi)(shi)生(sheng)(sheng)態環境(jing)局(ju)同意4家企(qi)業(ye)廢硫酸(suan)(suan)定向資(zi)源(yuan)化再利(li)用備(bei)(bei)案(an)。2020年10月，上(shang)海(hai)市(shi)(shi)生(sheng)(sheng)態環境(jing)局(ju)擴大廢硫酸(suan)(suan)定向資(zi)源(yuan)化再利(li)用備(bei)(bei)案(an)，新增4家企(qi)業(ye)，全面覆蓋上(shang)海(hai)市(shi)(shi)具(ju)備(bei)(bei)回收廢酸(suan)(suan)條件的集成(cheng)電(dian)路制造企(qi)業(ye)。

　　據(ju)介紹，目(mu)前，各(ge)方進(jin)(jin)展順利(li)，各(ge)試點(dian)企業在(zai)嚴格(ge)執(zhi)行危險廢(fei)物(wu)各(ge)項管理制度(du)下，廢(fei)硫酸(suan)源頭品質(zhi)得到(dao)保障，并委托具(ju)有相關(guan)運(yun)輸資質(zhi)的單位專(zhuan)人專(zhuan)車(che)進(jin)(jin)行運(yun)輸。澎博(bo)公司(si)在(zai)廢(fei)酸(suan)使(shi)用(yong)期間，生產(chan)運(yun)行穩(wen)定(ding)，各(ge)項污染(ran)物(wu)排放環保指標檢測均符合排放標準。同(tong)時，澎博(bo)公司(si)對(dui)生產(chan)設備工藝進(jin)(jin)行優(you)化改(gai)造，在(zai)末端形成(cheng)了可滿足近期集成(cheng)電路產(chan)業發(fa)展需求的每(mei)年6萬噸廢(fei)硫酸(suan)利(li)用(yong)能力。

　　“十四五(wu)”期間，上(shang)(shang)海的集成電(dian)路(lu)產(chan)量將快速增長(chang)，需處置(zhi)的廢硫酸量也(ye)將隨之(zhi)增加。據(ju)最新統計，2020年產(chan)生廢酸1.25萬(wan)噸(dun)，2021年預計為(wei)2.8萬(wan)噸(dun)，到(dao)2022年上(shang)(shang)海芯片企業產(chan)生的廢硫酸將高達(da)(da)6萬(wan)噸(dun)，2025年將達(da)(da)到(dao)10萬(wan)噸(dun)以(yi)上(shang)(shang)。

　　面對(dui)這一形(xing)勢(shi)，上(shang)海各相關部門召開會議制定(ding)了(le)“提(ti)前謀劃改造，形(xing)成需求匹配、長(chang)久穩定(ding)”的(de)廢(fei)硫酸利用(yong)(yong)原(yuan)則。上(shang)海市發(fa)改委、上(shang)海市經(jing)濟(ji)和信息化委還專(zhuan)門組織(zhi)專(zhuan)家隊伍到資源化綜合利用(yong)(yong)企(qi)業(ye)(ye)澎博(bo)公司開展(zhan)現場調(diao)研，了(le)解情況，聽取企(qi)業(ye)(ye)和行業(ye)(ye)專(zhuan)家的(de)意見和建議。

　　作為(wei)廢酸再利用定點企業(ye)，澎博公司也啟動了匹配(pei)廢酸資源化利用技改(gai)規劃，積極響應上級部門對澎博公司以廢定產、提前謀劃的要求，規劃“集成(cheng)電路行業(ye)10萬噸廢酸資源化利用”技改(gai)。

　　在上(shang)(shang)海(hai)市(shi)人民(min)政府(fu)近日印發的(de)《上(shang)(shang)海(hai)市(shi)2021-2023年生態環境保護和建設三(san)年行動(dong)》文(wen)(wen)件上(shang)(shang)，記者也注意到相(xiang)關條文(wen)(wen)：在環境可(ke)控的(de)前提(ti)下，持(chi)續(xu)推(tui)動(dong)集成(cheng)電路(lu)行業廢酸等危險廢物“點對點”定向資源化利(li)用工(gong)作(zuo)，形成(cheng)穩定的(de)與集成(cheng)電路(lu)行業未來(lai)發展相(xiang)適應的(de)廢酸處(chu)置利(li)用能力。

　　據悉，未來，這種廢(fei)棄硫酸“點(dian)對(dui)點(dian)”資源化定向再(zai)利用(yong)(yong)模(mo)式(shi)，將有力保障(zhang)我國集(ji)成電路行(xing)業(ye)的(de)發展，也將對(dui)其他行(xing)業(ye)的(de)危(wei)險(xian)廢(fei)物綜合利用(yong)(yong)起到借鑒和引領(ling)作用(yong)(yong)。

來源：中國環境報