中國(guo)環境報見習(xi)記者 丁波 記者 蔡新(xin)華(hua) 上(shang)海被賦(fu)予打(da)造集(ji)成(cheng)電(dian)路產業高地的重大任務，隨著產業規(gui)模逐步擴(kuo)大，廢酸環境無害化處置成(cheng)為突出問題(ti)。據了解(jie)，上(shang)海通過 “點對(dui)點”資源化定向再利用創新(xin)模式已破解(jie)這(zhe)一難題(ti)。

　　日前，一(yi)(yi)輛(liang)(liang)掛有危(wei)險標識的(de)(de)(de)罐裝運輸(shu)車穩(wen)(wen)穩(wen)(wen)駛入廠區(qu)，公司專職管(guan)理員引導車輛(liang)(liang)，過磅、取(qu)樣、檢驗、聯單簽收……一(yi)(yi)系列(lie)流程后，車被引導至(zhi)專用(yong)卸車區(qu)，車上的(de)(de)(de)特(te)殊(shu)液體(ti)被接收到公司的(de)(de)(de)原料儲料罐中(zhong)，等待用(yong)于后續(xu)的(de)(de)(de)生產。

　　這是記者在位于(yu)金山第(di)二工業(ye)區內的上海澎博鈦(tai)白粉有限公司(以(yi)下簡稱(cheng)澎博公司)看到的場景(jing)。罐(guan)裝(zhuang)車內裝(zhuang)運的是液體硫(liu)(liu)酸，它的特殊性在于(yu)是上游集成電(dian)路芯片生產企業(ye)使用(yong)過的廢棄(qi)硫(liu)(liu)酸。

　　在現(xian)場，公(gong)司負責人(ren)何(he)文龍(long)告(gao)訴記者，公(gong)司是上海市集(ji)成電(dian)路芯片行(xing)業產生(sheng)的廢硫酸資源化利(li)用(yong)定點單(dan)位，每天(tian)安排專用(yong)車輛將廢酸運回(hui)工(gong)廠，經(jing)過嚴格的檢驗流程(cheng)后再(zai)投入(ru)到鈦白(bai)粉(fen)生(sheng)產當中，今(jin)年1月-7月已(yi)處置(zhi)利(li)用(yong)廢酸1.5萬噸。

　　新模式(shi)解決行業(ye)發展難題

　　據上(shang)海(hai)(hai)市(shi)生(sheng)態環境局相關負責人介紹，上(shang)海(hai)(hai)首創的廢(fei)硫酸“點對(dui)點”資源化定(ding)向再利用模式(shi)運(yun)用逐(zhu)步(bu)成(cheng)熟(shu)，目(mu)前已(yi)經全部(bu)覆蓋了上(shang)海(hai)(hai)具備回收(shou)廢(fei)酸條件的集(ji)成(cheng)電(dian)路芯(xin)片(pian)制(zhi)造企(qi)業(ye)，總體上(shang)穩(wen)定(ding)地解決了上(shang)海(hai)(hai)集(ji)成(cheng)電(dian)路芯(xin)片(pian)制(zhi)造企(qi)業(ye)廢(fei)硫酸處(chu)置(zhi)問題。

　　據上海市集(ji)成電(dian)路行(xing)(xing)業(ye)協會相關負責人(ren)介紹，集(ji)成電(dian)路產(chan)(chan)業(ye)生產(chan)(chan)過程(cheng)中(zhong)會使用大量濃(nong)硫酸(suan)，排(pai)放以硫酸(suan)物質為(wei)主(zhu)，處理廢硫酸(suan)成本很(hen)高，同(tong)時會存(cun)在一定的生態環境(jing)安全風險。這個問題(ti)成為(wei)阻礙行(xing)(xing)業(ye)發展的難(nan)題(ti)。

　　直(zhi)面痛點。在(zai)上海(hai)市(shi)經(jing)(jing)濟和信(xin)息化委、上海(hai)市(shi)生態(tai)環境(jing)局等相(xiang)關部(bu)門的(de)支持下，上海(hai)市(shi)固(gu)體廢物和化學品管(guan)理技術中心、上海(hai)市(shi)集成電路行業協會積極探索，多次召(zhao)開(kai)(kai)專家研討會論證處置方案，并于2016年開(kai)(kai)始由中芯國際(ji)和澎博公司開(kai)(kai)展廢硫酸“點對(dui)點”資源化定向再(zai)利用試點運行，經(jing)(jing)過多輪試點驗(yan)(yan)證，最終形成較為成熟的(de)經(jing)(jing)驗(yan)(yan)。

　　去年，上海(hai)市集成(cheng)電路(lu)行業協會會同多部門(men)專(zhuan)門(men)編寫形成(cheng)了(le)《鈦白粉(fen)用(yong)集成(cheng)電路(lu)制造(zao)行業廢(fei)硫酸》(T/SICA001-2020)團體標準(zhun)，在(zai)上海(hai)市質量(liang)技(ji)術監(jian)督部門(men)網站和國家標準(zhun)網上進行公示，全力(li)保障廢(fei)酸源頭(tou)質量(liang)的(de)把控。

　　多維度再利用效益明顯

　　廢(fei)硫酸“點(dian)(dian)(dian)對(dui)點(dian)(dian)(dian)”資源化定(ding)向再(zai)利用(yong)，這一新模(mo)式(shi)的環境效益(yi)、經(jing)濟效益(yi)和社會(hui)效益(yi)都很顯著。相(xiang)關專家告訴記者(zhe)，模(mo)式(shi)的核(he)心是(shi)實現(xian)集成電路制造過程(cheng)中產生(sheng)的廢(fei)硫酸替代(dai)鈦(tai)白粉生(sheng)產工(gong)(gong)藝過程(cheng)中用(yong)到的工(gong)(gong)業硫酸。經(jing)過試點(dian)(dian)(dian)驗(yan)證，這種模(mo)式(shi)技術可行(xing)性很強，廢(fei)酸再(zai)利用(yong)單位在使用(yong)廢(fei)硫酸生(sheng)產鈦(tai)白粉時(shi)，不(bu)需要(yao)調整現(xian)有工(gong)(gong)藝。同時(shi)，替用(yong)過程(cheng)不(bu)增加額(e)外的環境負擔與風險(xian)，不(bu)影響產品的質(zhi)量，符合“固體廢(fei)物(wu)減量化、資源化和無害化”原(yuan)則。

　　談(tan)到經濟效益，這位(wei)專家給(gei)記者算了一筆賬：澎博公(gong)司再利(li)用(yong)廢(fei)硫(liu)酸(suan)(suan)每(mei)噸(dun)收費(fei)(fei)500元，按照上海市往年(nian)廢(fei)硫(liu)酸(suan)(suan)處置(zhi)費(fei)(fei)每(mei)噸(dun)2000元計算，今年(nian)1月(yue)(yue)至7月(yue)(yue)，澎博公(gong)司累(lei)計利(li)用(yong)廢(fei)硫(liu)酸(suan)(suan)1.5萬噸(dun)，集成(cheng)電路生產企(qi)業可節約2250萬元。同時，澎博公(gong)司也節省了購(gou)置(zhi)工業濃硫(liu)酸(suan)(suan)的(de)費(fei)(fei)用(yong)，產廢(fei)企(qi)業和再利(li)用(yong)企(qi)業達(da)到了“雙(shuang)贏(ying)”。

　　此外(wai)，新模式還符合循環經濟產(chan)業需求，不僅(jin)解決了(le)廢硫酸處置出(chu)路難、處置費用高的(de)(de)難題，降(jiang)低了(le)企業生產(chan)成本和廢硫酸處理(li)費用，還促進了(le)鈦白(bai)粉生產(chan)單(dan)位的(de)(de)升(sheng)級改造、精準轉型和綠(lv)色發(fa)展，為日后集成電路產(chan)業的(de)(de)蓬勃發(fa)展鋪平(ping)了(le)道路。

　　深入推進“點對點”資源化再(zai)利用

　　“在探(tan)索(suo)推(tui)行這一新模式的(de)(de)過程中，我們(men)以(yi)守(shou)好環境底線為(wei)前(qian)提，做到嚴格(ge)把關，按程序推(tui)進。”上海市生態環境局相(xiang)關負責(ze)人介紹，在前(qian)期提出設(she)(she)想并加以(yi)論(lun)證的(de)(de)基(ji)礎上，他(ta)們(men)于2016年發(fa)文(wen)，同意將中芯國(guo)際(ji)和澎博公司設(she)(she)立為(wei)上海市首個(ge)廢硫(liu)酸定向再利用試點單(dan)位，利用芯片廢硫(liu)酸生產鈦白(bai)粉。

　　2019年(nian)11月(yue)，上海市生(sheng)態環(huan)境局同意4家企(qi)業(ye)廢硫酸(suan)定向(xiang)資(zi)源(yuan)化再利(li)用(yong)備(bei)案。2020年(nian)10月(yue)，上海市生(sheng)態環(huan)境局擴大廢硫酸(suan)定向(xiang)資(zi)源(yuan)化再利(li)用(yong)備(bei)案，新增4家企(qi)業(ye)，全面覆(fu)蓋上海市具備(bei)回收廢酸(suan)條件(jian)的集成電路制造(zao)企(qi)業(ye)。

　　據介(jie)紹，目前(qian)，各(ge)(ge)方進展順利，各(ge)(ge)試點企業在嚴格(ge)執行危(wei)險(xian)廢(fei)物各(ge)(ge)項管理制度下(xia)，廢(fei)硫酸源(yuan)頭品(pin)質得(de)到保障，并委托(tuo)具有相關(guan)運輸資質的單位(wei)專人(ren)專車進行運輸。澎博公司(si)(si)在廢(fei)酸使用(yong)期(qi)(qi)間，生產運行穩定，各(ge)(ge)項污染物排放環保指(zhi)標(biao)檢測均符(fu)合排放標(biao)準。同時，澎博公司(si)(si)對生產設備(bei)工藝(yi)進行優(you)化改造，在末端形成(cheng)了可(ke)滿足近期(qi)(qi)集成(cheng)電路產業發展需(xu)求的每(mei)年6萬噸廢(fei)硫酸利用(yong)能力。

　　“十四五”期間，上海(hai)的(de)(de)集(ji)成電路產量(liang)將快速增長，需處置(zhi)的(de)(de)廢(fei)硫(liu)酸(suan)(suan)(suan)量(liang)也將隨(sui)之增加。據最新統計，2020年產生廢(fei)酸(suan)(suan)(suan)1.25萬(wan)噸(dun)，2021年預(yu)計為2.8萬(wan)噸(dun)，到2022年上海(hai)芯(xin)片企業(ye)產生的(de)(de)廢(fei)硫(liu)酸(suan)(suan)(suan)將高(gao)達(da)6萬(wan)噸(dun)，2025年將達(da)到10萬(wan)噸(dun)以(yi)上。

　　面對這一形勢，上(shang)(shang)海各相(xiang)關部(bu)門召開(kai)會議制定了(le)“提前謀劃改造(zao)，形成(cheng)需求匹配、長(chang)久(jiu)穩定”的廢(fei)硫酸(suan)利用原則(ze)。上(shang)(shang)海市發改委、上(shang)(shang)海市經濟和信(xin)息化委還專門組織專家(jia)隊伍到(dao)資源化綜合(he)利用企(qi)業(ye)澎博公司開(kai)展現場(chang)調(diao)研，了(le)解情況(kuang)，聽取企(qi)業(ye)和行業(ye)專家(jia)的意見和建議。

　　作為廢(fei)酸再利用(yong)定點(dian)企業，澎(peng)博公司也啟動了匹配(pei)廢(fei)酸資源(yuan)(yuan)化利用(yong)技(ji)改規劃，積極響應(ying)上級部門對澎(peng)博公司以廢(fei)定產、提(ti)前謀劃的(de)要求，規劃“集成電路行業10萬噸廢(fei)酸資源(yuan)(yuan)化利用(yong)”技(ji)改。

　　在(zai)上(shang)海市(shi)人民(min)政府近日印發(fa)的《上(shang)海市(shi)2021-2023年(nian)生態環境保護和(he)建設三年(nian)行(xing)動》文件上(shang)，記者也注意到相(xiang)關條(tiao)文：在(zai)環境可控的前提下，持續推動集(ji)成(cheng)電路行(xing)業廢酸(suan)等(deng)危險廢物(wu)“點對(dui)點”定向資(zi)源化(hua)利用(yong)工作，形成(cheng)穩(wen)定的與集(ji)成(cheng)電路行(xing)業未(wei)來發(fa)展相(xiang)適應的廢酸(suan)處置利用(yong)能力。

　　據悉，未(wei)來(lai)，這種廢棄硫酸“點對(dui)點”資源(yuan)化(hua)定向再利用(yong)(yong)模式，將(jiang)有(you)力保(bao)障我(wo)國集成電(dian)路行業的發展，也將(jiang)對(dui)其(qi)他(ta)行業的危(wei)險(xian)廢物綜(zong)合(he)利用(yong)(yong)起到借(jie)鑒和引(yin)領作用(yong)(yong)。

來源：中國(guo)環境報